Refractive-index-adjustment of SiO"2-GeO"2 films deposited by radio frequency magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Refractive-index-adjustment of SiO"2-GeO"2 films deposited by radio frequency magnetron sputtering

Kashimura, S. / Islam, M.R. / Takeuchi, M. / Hongo, A. / Ohira, K. / Imoto, K. / Kuma, S.

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Titel:

Refractive-index-adjustment of SiO"2-GeO"2 films deposited by radio frequency magnetron sputtering

Beteiligte:

Kashimura, S. (Autor:in) / Islam, M.R. (Autor:in) / Takeuchi, M. (Autor:in) / Hongo, A. (Autor:in) / Ohira, K. (Autor:in) / Imoto, K. (Autor:in) / Kuma, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 142 ; 58-62

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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