GaN films deposited by middle-frequency magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

GaN films deposited by middle-frequency magnetron sputtering

Zou, C. W. / Yin, M. L. / Li, M. / Guo, L. P. / Fu, D. J.

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Titel:

GaN films deposited by middle-frequency magnetron sputtering

Beteiligte:

Zou, C. W. (Autor:in) / Yin, M. L. (Autor:in) / Li, M. (Autor:in) / Guo, L. P. (Autor:in) / Fu, D. J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 9077-9080

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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