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Auger electron spectroscopy of super-doped Si:Mn thin films

Abe, S. / Nakasima, Y. / Okubo, S. / Nakayama, H. / Nishino, T. / Yanagi, H. / Ohta, H. / Iida, S.

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Titel:

Auger electron spectroscopy of super-doped Si:Mn thin films

Beteiligte:

Abe, S. (Autor:in) / Nakasima, Y. (Autor:in) / Okubo, S. (Autor:in) / Nakayama, H. (Autor:in) / Nishino, T. (Autor:in) / Yanagi, H. (Autor:in) / Ohta, H. (Autor:in) / Iida, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 142 ; 537-542

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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