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Characterization of RuO"2 films prepared by rf reactive magnetron sputtering

Meng, L.-j. / dos Santos, M.P.

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Titel:

Characterization of RuO"2 films prepared by rf reactive magnetron sputtering

Beteiligte:

Meng, L.-j. (Autor:in) / dos Santos, M.P. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 147 ; 94-100

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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