Influence of the silicon overlayer thickness of SOI unibond substrates on @b-SIC heteroepitaxy: Fid-Bau Portal

Influence of the silicon overlayer thickness of SOI unibond substrates on @b-SIC heteroepitaxy

Moller, H. / Eickhoff, M. / Vogelmeier, L. / Rapp, M. / Krotz, G. / Papaioannou, V. / Stoemenos, J.

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Titel:

Influence of the silicon overlayer thickness of SOI unibond substrates on @b-SIC heteroepitaxy

Beteiligte:

Moller, H. (Autor:in) / Eickhoff, M. (Autor:in) / Vogelmeier, L. (Autor:in) / Rapp, M. (Autor:in) / Krotz, G. (Autor:in) / Papaioannou, V. (Autor:in) / Stoemenos, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 61-62 ; 567 - 570

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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