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Optimization of nitrogenated amorphous carbon films deposited by dual ion beam sputtering

Cheah, L.K. / Shi, X. / Liu, E. / Tay, B.K. / Shi, J.R.

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Titel:

Optimization of nitrogenated amorphous carbon films deposited by dual ion beam sputtering

Beteiligte:

Cheah, L.K. (Autor:in) / Shi, X. (Autor:in) / Liu, E. (Autor:in) / Tay, B.K. (Autor:in) / Shi, J.R. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 64 ; 6 - 11

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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