Self-Assembled Patterning of Ultrathin Silicides by Local Oxidation: Fid-Bau Portal

Self-Assembled Patterning of Ultrathin Silicides by Local Oxidation

Mantl, S. / Zhao, Q.-T. / Kabius, B.

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Titel:

Self-Assembled Patterning of Ultrathin Silicides by Local Oxidation

Beteiligte:

Mantl, S. (Autor:in) / Zhao, Q.-T. (Autor:in) / Kabius, B. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 24 ; 31-35

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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