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Aluminum metallization for flat-panel displays using ion-beam-assisted physical vapor deposition

Ma, Z. / Was, G. S.

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Titel:

Aluminum metallization for flat-panel displays using ion-beam-assisted physical vapor deposition

Beteiligte:

Ma, Z. (Autor:in) / Was, G. S. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 14 ; 4051-4061

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

11 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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