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Investigation on adsorption state of surface adsorbate on silicon wafer

Liu, Y. / Liu, N. / Cao, Y.

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Titel:

Investigation on adsorption state of surface adsorbate on silicon wafer

Beteiligte:

Liu, Y. (Autor:in) / Liu, N. (Autor:in) / Cao, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

RARE METALS -BEIJING- ENGLISH EDITION ; 18 ; 106-112

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

1001-0521

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 669

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