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A morphology study of magnetron-sputtered AI films by atomic force microscopy

Sun, Y. / Yang, D.-Q. / Cui, J.-Z.

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Titel:

A morphology study of magnetron-sputtered AI films by atomic force microscopy

Beteiligte:

Sun, Y. (Autor:in) / Yang, D.-Q. (Autor:in) / Cui, J.-Z. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS ; 18 ; 407-410

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0261-8028

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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