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    Titel:

    Eddy Current Microsensor for Use in Micromachine Applications

    Beteiligte:

    Zmood, R. B. (Autor:in) / Yu, P. L. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF INTELLIGENT MATERIAL SYSTEMS AND STRUCTURES ; 9 ; 952-958

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1998

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    1045-389X

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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