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    Titel:

    Angle resolved X-ray photoelectron spectroscopic study of ultrathin oxynitrides

    Beteiligte:

    Kawase, K. (Autor:in) / Tanimura, J. (Autor:in) / Kurokawa, H. (Autor:in) / Kobayashi, K. (Autor:in) / Teramoto, A. (Autor:in) / Ogata, T. (Autor:in) / Inoue, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 2 ; 225-231

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1999

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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