Electron paramagnetic resonance study of defects in rapid thermal chemical vapor deposited polycrystalline silicon: Fid-Bau Portal

Electron paramagnetic resonance study of defects in rapid thermal chemical vapor deposited polycrystalline silicon

Grozdanic, D. / Rakvin, B. / Pivac, B. / Slaoui, A. / Monna, R.

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Titel:

Electron paramagnetic resonance study of defects in rapid thermal chemical vapor deposited polycrystalline silicon

Beteiligte:

Grozdanic, D. (Autor:in) / Rakvin, B. (Autor:in) / Pivac, B. (Autor:in) / Slaoui, A. (Autor:in) / Monna, R. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 69-70 ; 549 - 552

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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