Three-Dimensional Microfabrication Using Maskless Irradiation with MeV Ion Beams: Proton-Beam Micromachining: Fid-Bau Portal

Three-Dimensional Microfabrication Using Maskless Irradiation with MeV Ion Beams: Proton-Beam Micromachining

Watt, F. / van Kan, J. A. / Osipowicz, T.

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Titel:

Three-Dimensional Microfabrication Using Maskless Irradiation with MeV Ion Beams: Proton-Beam Micromachining

Beteiligte:

Watt, F. (Autor:in) / van Kan, J. A. (Autor:in) / Osipowicz, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 25 ; 33-38

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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