Pre-bonding technology based on excimer laser surface treatment: Fid-Bau Portal

Pre-bonding technology based on excimer laser surface treatment

Rotel, M. / Zahavi, J. / Tamir, S. / Buchman, A. / Dodiuk, H.

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Titel:

Pre-bonding technology based on excimer laser surface treatment

Beteiligte:

Rotel, M. (Autor:in) / Zahavi, J. (Autor:in) / Tamir, S. (Autor:in) / Buchman, A. (Autor:in) / Dodiuk, H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 154-155 ; 610-616

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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