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    Titel:

    Hot-filament-enhanced chemical vapor deposition of silicon oxide films

    Beteiligte:

    Chavez, F. (Autor:in) / Bravo-Garcia, Y. E. (Autor:in) / Silva-Andrade, F. (Autor:in) / Galindo, A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS LETTERS ; 43 ; 324-328

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2000

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0167-577X

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.1105 / 530

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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