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Cluster ion implantation: a molecular dynamics study

Ihara, S. / Itoh, S. / Greer, J. C.

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Titel:

Cluster ion implantation: a molecular dynamics study

Beteiligte:

Ihara, S. (Autor:in) / Itoh, S. (Autor:in) / Greer, J. C. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 3 ; 91-95

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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