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Channeled Implants in 6H Silicon Carbide
Channeled Implants in 6H Silicon Carbide
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Janson, M. S. (Autor:in) / Hallen, A. (Autor:in) / Godignon, P. (Autor:in) / Kuznetsov, A. Y. (Autor:in) / Linnarsson, M. K. (Autor:in) / Morvan, E. (Autor:in) / Svensson, B. G. (Autor:in)
MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 889-892
01.01.2000
4 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
620.11
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NTIS | 1978
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