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Damage Reduction in Channeled Ion Implanted 6H-SiC
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Morvan, E. (Autor:in) / Mestres, N. (Autor:in) / Campos, F. J. (Autor:in) / Pascual, J. (Autor:in) / Hallen, A. (Autor:in) / Linnarsson, M. K. (Autor:in) / Kuznetsov, A. Y. (Autor:in)
MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 893-896
01.01.2000
4 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
620.11
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NTIS | 1978
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