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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Real-Time Assessment of Overlayer Removal on 4H-SiC Surfaces: Techniques and Relevance to Contact Formation

    Beteiligte:

    Edwards, N. V. (Autor:in) / Madsen, L. D. (Autor:in) / Robbie, K. (Autor:in) / Powell, G. D. (Autor:in) / Jarrendahl, K. (Autor:in) / Cobet, C. (Autor:in) / Esser, N. (Autor:in) / Richter, W. (Autor:in) / Aspnes, D. E. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 1033-1036

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2000

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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