Molding-based Thin Film Patterning Techniques for SiC Surface Micromachining: Fid-Bau Portal

Molding-based Thin Film Patterning Techniques for SiC Surface Micromachining

Song, X. / Guo, S. / Zorman, C. A. / Wu, C.-H. / Yasseen, A. A. / Mehregany, M.

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Titel:

Molding-based Thin Film Patterning Techniques for SiC Surface Micromachining

Beteiligte:

Song, X. (Autor:in) / Guo, S. (Autor:in) / Zorman, C. A. (Autor:in) / Wu, C.-H. (Autor:in) / Yasseen, A. A. (Autor:in) / Mehregany, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 1141-1144

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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