Investigation of 3C-SiC Epitaxial Layers Grown by Sublimation Epitaxy: Fid-Bau Portal

Investigation of 3C-SiC Epitaxial Layers Grown by Sublimation Epitaxy

Davydov, D. V. / Lebedev, A. A. / Tregubova, A. S. / Kozlovski, V. V. / Kuznetsov, A. N. / Bogdanova, E. V.

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Titel:

Investigation of 3C-SiC Epitaxial Layers Grown by Sublimation Epitaxy

Beteiligte:

Davydov, D. V. (Autor:in) / Lebedev, A. A. (Autor:in) / Tregubova, A. S. (Autor:in) / Kozlovski, V. V. (Autor:in) / Kuznetsov, A. N. (Autor:in) / Bogdanova, E. V. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 221-224

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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