Quantified Conditions for Reduction of ESO Contamination During SiC Metalization: Fid-Bau Portal

Quantified Conditions for Reduction of ESO Contamination During SiC Metalization

McDaniel, G. Y. / Fenstermaker, S. T. / Walker, D. E. / Lampert, W. V. / Mukhopadhyay, S. M. / Holloway, P. H.

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Titel:

Quantified Conditions for Reduction of ESO Contamination During SiC Metalization

Beteiligte:

McDaniel, G. Y. (Autor:in) / Fenstermaker, S. T. (Autor:in) / Walker, D. E. (Autor:in) / Lampert, W. V. (Autor:in) / Mukhopadhyay, S. M. (Autor:in) / Holloway, P. H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 338/342 ; 407-410

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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