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    Titel:

    Focused ion beams and silicon-on-insulator-a novel approach to MEMS

    Beteiligte:

    Daniel, J. H. (Autor:in) / Moore, D. F. (Autor:in) / Walker, J. F. (Autor:in)

    Erschienen in:

    SMART MATERIALS AND STRUCTURES ; 9 ; 284-290

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2000

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0964-1726

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  530

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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