Profiling of patterned metal layers by laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry (LA-ICP-MS): Fid-Bau Portal

Profiling of patterned metal layers by laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry (LA-ICP-MS)

Bi, M. / Ruiz, A. M. / Gornushkin, I. / Smith, B. W. / Winefordner, J. D.

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Titel:

Profiling of patterned metal layers by laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry (LA-ICP-MS)

Beteiligte:

Bi, M. (Autor:in) / Ruiz, A. M. (Autor:in) / Gornushkin, I. (Autor:in) / Smith, B. W. (Autor:in) / Winefordner, J. D. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 158 ; 197-204

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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