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    Titel:

    SR-stimulated etching and OMVPE growth for semiconductor nanostructure fabrication

    Beteiligte:

    Nonogaki, Y. (Autor:in) / Hatate, H. (Autor:in) / Oga, R. (Autor:in) / Yamamoto, S. (Autor:in) / Fujiwara, Y. (Autor:in) / Takeda, Y. (Autor:in) / Noda, H. (Autor:in) / Urisu, T. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 74 ; 7 - 11

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2000

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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