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    Titel:

    XPS analysis of Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 thin film after dry-etching by CHF3 plasma

    Beteiligte:

    Lin, Y. y. (Autor:in) / Liu, Q. (Autor:in) / Tang, T. a. (Autor:in) / Yao, X. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 165 ; 34-37

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2000

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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