In Situ Measurement of Stress during Deposition of Boron Nitride Films: Fid-Bau Portal

In Situ Measurement of Stress during Deposition of Boron Nitride Films

Fukarek, W. / Fitz, C. / Kolitsch, A. / Moller, W.

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Titel:

In Situ Measurement of Stress during Deposition of Boron Nitride Films

Beteiligte:

Fukarek, W. (Autor:in) / Fitz, C. (Autor:in) / Kolitsch, A. (Autor:in) / Moller, W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 347/349 ; 156-160

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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