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Internal Stresses in Aluminium Interconnects

Saerens, A. / Van Houtte, P. / Witvrouw, A.

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Titel:

Internal Stresses in Aluminium Interconnects

Beteiligte:

Saerens, A. (Autor:in) / Van Houtte, P. (Autor:in) / Witvrouw, A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 347/349 ; 556-561

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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