Evolution of stresses in passivated and unpassivated metal interconnects: Fid-Bau Portal

Evolution of stresses in passivated and unpassivated metal interconnects

Gouldstone, A. / Shen, Y.-L. / Suresh, S. / Thompson, C. V.

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Titel:

Evolution of stresses in passivated and unpassivated metal interconnects

Beteiligte:

Gouldstone, A. (Autor:in) / Shen, Y.-L. (Autor:in) / Suresh, S. (Autor:in) / Thompson, C. V. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 13 ; 1956-1966

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

11 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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