Electrical properties and annealing effects on the stress of RF-sputtered c-BN films: Fid-Bau Portal

Electrical properties and annealing effects on the stress of RF-sputtered c-BN films

Zhang, X. W. / Zou, Y. J. / Yan, H. / Wang, B. / Chen, G. H. / Wong, S. P.

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Titel:

Electrical properties and annealing effects on the stress of RF-sputtered c-BN films

Beteiligte:

Zhang, X. W. (Autor:in) / Zou, Y. J. (Autor:in) / Yan, H. (Autor:in) / Wang, B. (Autor:in) / Chen, G. H. (Autor:in) / Wong, S. P. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 45 ; 111-115

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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