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Electron-beam-induced patterning of thin film arsenic-based chalcogenides

Mietzsch, K. / Fitzgerald, A. G.

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Titel:

Electron-beam-induced patterning of thin film arsenic-based chalcogenides

Beteiligte:

Mietzsch, K. (Autor:in) / Fitzgerald, A. G. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 162/163 ; 464-468

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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