Creep-controlled diffusional hillock formation in blanket aluminum thin films as a mechanism of stress relaxation: Fid-Bau Portal

Creep-controlled diffusional hillock formation in blanket aluminum thin films as a mechanism of stress relaxation

Kim, D.-k. / Nix, W. D. / Deal, M. D. / Plummer, J. D.

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Titel:

Creep-controlled diffusional hillock formation in blanket aluminum thin films as a mechanism of stress relaxation

Beteiligte:

Kim, D.-k. (Autor:in) / Nix, W. D. (Autor:in) / Deal, M. D. (Autor:in) / Plummer, J. D. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 15 ; 1709-1718

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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