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TiN Thin Films: Defect Generation, Residual Stresses and Hardness

Hultman, L. / Sundgren, J.-E.

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Titel:

TiN Thin Films: Defect Generation, Residual Stresses and Hardness

Beteiligte:

Hultman, L. (Autor:in) / Sundgren, J.-E. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF THE MECHANICAL BEHAVIOR OF MATERIALS ; 11 ; 59-62

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0334-8938

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 669 / 016

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