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Reactively sputtered WO~xN~y films

Shen, Y. G. / Mai, Y. W.

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Titel:

Reactively sputtered WO~xN~y films

Beteiligte:

Shen, Y. G. (Autor:in) / Mai, Y. W. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 15 ; 2437-2445

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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