Surface micro-structuring of silicon by excimer-laser irradiation in reactive atmospheres: Fid-Bau Portal

Surface micro-structuring of silicon by excimer-laser irradiation in reactive atmospheres

Pedraza, A. J. / Fowlkes, J. D. / Jesse, S. / Mao, C. / Lowndes, D. H.

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Titel:

Surface micro-structuring of silicon by excimer-laser irradiation in reactive atmospheres

Beteiligte:

Pedraza, A. J. (Autor:in) / Fowlkes, J. D. (Autor:in) / Jesse, S. (Autor:in) / Mao, C. (Autor:in) / Lowndes, D. H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 168 ; 251-257

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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