New types of microlens arrays for the IR based on inorganic chalcogenide photoresists: Fid-Bau Portal

New types of microlens arrays for the IR based on inorganic chalcogenide photoresists

Eisenberg, N. P. / Manevich, M. / Noach, S. / Klebanov, M. / Lyubin, V.

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Titel:

New types of microlens arrays for the IR based on inorganic chalcogenide photoresists

Beteiligte:

Eisenberg, N. P. (Autor:in) / Manevich, M. (Autor:in) / Noach, S. (Autor:in) / Klebanov, M. (Autor:in) / Lyubin, V. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 3 ; 443-448

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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