Optical study of porous silicon buried waveguides fabricated from p-type silicon: Fid-Bau Portal

Optical study of porous silicon buried waveguides fabricated from p-type silicon

Charrier, J. / Lupi, C. / Haji, L. / Boisrobert, C.

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Titel:

Optical study of porous silicon buried waveguides fabricated from p-type silicon

Beteiligte:

Charrier, J. (Autor:in) / Lupi, C. (Autor:in) / Haji, L. (Autor:in) / Boisrobert, C. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 3 ; 357-361

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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