Room Temperature Initial Oxidation of 6H- and 4H-SiC(0001) 3x3: Fid-Bau Portal

Room Temperature Initial Oxidation of 6H- and 4H-SiC(0001) 3x3

Amy, F. / Hwu, Y.-K. / Brylinski, C. / Soukiassian, P.

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Titel:

Room Temperature Initial Oxidation of 6H- and 4H-SiC(0001) 3x3

Beteiligte:

Amy, F. (Autor:in) / Hwu, Y.-K. (Autor:in) / Brylinski, C. (Autor:in) / Soukiassian, P. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 353/356 ; 215-218

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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