Growth of delta-Doped SiC Epitaxial Layers: Fid-Bau Portal

Growth of delta-Doped SiC Epitaxial Layers

Karlsson, S. / Adas, C. / Konstantinov, A. / Linnarsson, M. K.

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Titel:

Growth of delta-Doped SiC Epitaxial Layers

Beteiligte:

Karlsson, S. (Autor:in) / Adas, C. (Autor:in) / Konstantinov, A. (Autor:in) / Linnarsson, M. K. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 353/356 ; 563-566

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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