Precipitate Formation in Heavily Al-Doped 4H-SiC Layers: Fid-Bau Portal

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Precipitate Formation in Heavily Al-Doped 4H-SiC Layers

Linnarsson, M. K. / Persson, P. O. A. / Bleichner, H. / Janson, M. S. / Zimmermann, U. / Andersson, H. / Karlsson, S. / Yakimova, R. / Hultman, L. / Svensson, B. G.

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Linnarsson, M. K. / Persson, P. O. A. / Bleichner, H. / Janson, M. S. / Zimmermann, U. / Andersson, H. / Karlsson, S. / Yakimova, R. / Hultman, L. / Svensson, B. G.

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Titel:

Precipitate Formation in Heavily Al-Doped 4H-SiC Layers

Beteiligte:

Linnarsson, M. K. (Autor:in) / Persson, P. O. A. (Autor:in) / Bleichner, H. (Autor:in) / Janson, M. S. (Autor:in) / Zimmermann, U. (Autor:in) / Andersson, H. (Autor:in) / Karlsson, S. (Autor:in) / Yakimova, R. (Autor:in) / Hultman, L. (Autor:in) / Svensson, B. G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 353/356 ; 583-586

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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