Remote PECVD Oxide Utilized in U-MOS Structures and Different MOSFETs on SiC: Fid-Bau Portal

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Remote PECVD Oxide Utilized in U-MOS Structures and Different MOSFETs on SiC

Scharnholz, S. / Hellmund, O. / Stein, J. / Spangenberg, B. / Kurz, H.

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Titel:

Remote PECVD Oxide Utilized in U-MOS Structures and Different MOSFETs on SiC

Beteiligte:

Scharnholz, S. (Autor:in) / Hellmund, O. (Autor:in) / Stein, J. (Autor:in) / Spangenberg, B. (Autor:in) / Kurz, H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 353/356 ; 651-654

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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