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Irreversible hydrogen effects on resistivity of sputtered copper films

Lee, K. / Lee, Y. K.

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Titel:

Irreversible hydrogen effects on resistivity of sputtered copper films

Beteiligte:

Lee, K. (Autor:in) / Lee, Y. K. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 35 ; 6035-6040

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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