Effects of hydrogen atmosphere on pulsed-DC sputtered nanocrystalline Si:H films: Fid-Bau Portal

Effects of hydrogen atmosphere on pulsed-DC sputtered nanocrystalline Si:H films

Cherng, J.S. / Chang, S.H. / Hong, S.H.

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Titel:

Effects of hydrogen atmosphere on pulsed-DC sputtered nanocrystalline Si:H films

Beteiligte:

Cherng, J.S. (Autor:in) / Chang, S.H. (Autor:in) / Hong, S.H. (Autor:in) / Boo, J.-H. / Ahn, H.

Erschienen in:

Proceedings of the IFFM2011 (2011 International Forum on Functional Materials) and AFM-2 (2nd Special Symposium on Advances in Functional Materials) Jeju island, Korea 28-31 July 2011 ; 3036-3039

MATERIALS RESEARCH BULLETIN ; 47

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0025-5408

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11 / 620

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