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Bubble formation on silicon by helium ion bombardment

Yamauchi, Y. / Hirohata, Y. / Hino, T. / Nishikawa, M.

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Titel:

Bubble formation on silicon by helium ion bombardment

Beteiligte:

Yamauchi, Y. (Autor:in) / Hirohata, Y. (Autor:in) / Hino, T. (Autor:in) / Nishikawa, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 169-170 ; 626-630

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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