Copper film prepared with ArF excimer laser: Fid-Bau Portal

Copper film prepared with ArF excimer laser

Yoshida, A. / Sato, H. / Uchida, M. / Wakahara, A. / Hoshino, A. / Machida, H.

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Titel:

Copper film prepared with ArF excimer laser

Beteiligte:

Yoshida, A. (Autor:in) / Sato, H. (Autor:in) / Uchida, M. (Autor:in) / Wakahara, A. (Autor:in) / Hoshino, A. (Autor:in) / Machida, H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 169-170 ; 493-495

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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