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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Excimer-laser patterning of copper in LDE (laser dry etching)

    Beteiligte:

    Pfleging, W. (Autor:in) / Voerckel, A. (Autor:in) / Duddek, H. (Autor:in) / Wesner, D. A. (Autor:in) / Kreutz, E. W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 109/110 ; 194-200

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1997

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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