Thin film properties by facing targets sputtering system: Fid-Bau Portal

Thin film properties by facing targets sputtering system

Kim, K. H. / Son, I. H. / Song, K. B. / Kong, S. H. / Keum, M. J. / Nakagawa, S. / Naoe, M.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Thin film properties by facing targets sputtering system

Kim, K. H. / Son, I. H. / Song, K. B. / Kong, S. H. / Keum, M. J. / Nakagawa, S. / Naoe, M.

Thin film properties by facing targets sputtering system

Kim, K. H. / Son, I. H. / Song, K. B. / Kong, S. H. / Keum, M. J. / Nakagawa, S. / Naoe, M.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Thin film properties by facing targets sputtering system

Beteiligte:

Kim, K. H. (Autor:in) / Son, I. H. (Autor:in) / Song, K. B. (Autor:in) / Kong, S. H. (Autor:in) / Keum, M. J. (Autor:in) / Nakagawa, S. (Autor:in) / Naoe, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 169-170 ; 410-414

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Li, Y. / Yang, B. / Liu, X. | British Library Online Contents | 1996

Structure and properties of ternary manganese nitride Mn3CuNy thin films fabricated by facing target magnetron sputtering

Na, Y. / Wang, C. / Sun, Y. et al. | British Library Online Contents | 2011

Sputtering effects on magnetic properties of BaM thin film

Hing, P. / Ray (Mal), J. / Fong, C. S. et al. | British Library Online Contents | 2002

Deposition of nanostructured crystalline alumina thin film by twin targets reactive high power impulse magnetron sputtering

Zhou, Guangxue / Wang, Langping / Wang, Xiaofeng et al. | British Library Online Contents | 2018

Deposition of nanostructured crystalline alumina thin film by twin targets reactive high power impulse magnetron sputtering

Zhou, Guangxue / Wang, Langping / Wang, Xiaofeng et al. | British Library Online Contents | 2018

Nach oben