Principle and Process Window of Cerium Dioxide Thin Film Fabrication with Dual Plasma Deposition: Fid-Bau Portal

Principle and Process Window of Cerium Dioxide Thin Film Fabrication with Dual Plasma Deposition

Wang, L. P. / Tang, B. Y. / Tian, X. B. / Leng, Y. X. / Zhang, Q. Y. / Chu, P. K.

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Titel:

Principle and Process Window of Cerium Dioxide Thin Film Fabrication with Dual Plasma Deposition

Beteiligte:

Wang, L. P. (Autor:in) / Tang, B. Y. (Autor:in) / Tian, X. B. (Autor:in) / Leng, Y. X. (Autor:in) / Zhang, Q. Y. (Autor:in) / Chu, P. K. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY -SHENYANG- ; 17 ; 29-30

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

2 pages

ISSN:

1005-0302

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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