Low-temperature photoluminescence characterization of hydrogen- and helium-implanted silicon: Fid-Bau Portal

Low-temperature photoluminescence characterization of hydrogen- and helium-implanted silicon

Ulyashin, A. G. / Job, R. / Fahrner, W. R. / Mudryi, A. V. / Patuk, A. I. / Shakin, I. A.

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Titel:

Low-temperature photoluminescence characterization of hydrogen- and helium-implanted silicon

Beteiligte:

Ulyashin, A. G. (Autor:in) / Job, R. (Autor:in) / Fahrner, W. R. (Autor:in) / Mudryi, A. V. (Autor:in) / Patuk, A. I. (Autor:in) / Shakin, I. A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 4 ; 297-299

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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